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單質(zhì)靶材：鉍（Bi）靶材，碲（Te）靶材，鋯（Zr）靶材，鎘（Cd）靶材，鉿（Hf）靶材，硫（S）靶材，鋁（Al）靶材，錳（Mn）靶材，鉬（Mo）

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